MF測量顯微鏡(Measuring Microscope)是專為精密零件二維尺寸測量設(shè)計的光學(xué)測量儀器,綜合了顯微鏡的光學(xué)放大能力與精密工作臺的坐標(biāo)測量功能,廣泛應(yīng)用于機(jī)械加工、電子制造、微型零件檢測及工具檢測等領(lǐng)域。
儀器基本構(gòu)成
MF測量顯微鏡通常包含以下核心組成:精密X-Y十字滑臺(配備精密絲桿、光柵尺或編碼器,實(shí)現(xiàn)微米級位移測量);目鏡與物鏡組合(提供5倍至100倍放大);旋轉(zhuǎn)分度目鏡(用于角度測量);透射光源(用于輪廓測量)和表面反射光源(用于不透明樣品觀測);以及數(shù)字計數(shù)器或電子數(shù)顯裝置(顯示X、Y、Z軸坐標(biāo)值)。
測量原理
測量時,將被測零件固定在工作臺上,通過調(diào)節(jié)工作臺使零件特征點(diǎn)對準(zhǔn)目鏡十字線中心,記錄X-Y坐標(biāo)值;移動至下一特征點(diǎn)后再次記錄坐標(biāo);通過兩點(diǎn)間的坐標(biāo)差計算距離,或通過多點(diǎn)數(shù)據(jù)擬合計算圓直徑、角度等幾何量。
主要應(yīng)用領(lǐng)域
工具與刀具檢測:測量鉆頭直徑、絲錐螺距、銑刀圓跳動等;
精密機(jī)械零件檢測:測量孔距、孔徑、凸臺高度等二維尺寸;
螺紋綜合參數(shù)測量:中徑、螺距、牙型角等;
印制電路板(PCB)檢測:孔間距、線寬等;
鐘表零部件及光學(xué)元件的尺寸和形狀檢測。
技術(shù)參數(shù)參考
測量范圍:X軸150~200mm,Y軸50~100mm(按型號不同);
分辨率:0.001mm(1μm);
測量精度:通常優(yōu)于(2+L/100)μm(L為測量長度,單位mm)。
MF測量顯微鏡憑借其高精度的坐標(biāo)測量能力和較強(qiáng)的通用性,在精密制造企業(yè)的質(zhì)檢部門和計量實(shí)驗室中有著穩(wěn)定的市場地位。